半導體晶片退火爐 管式加熱爐把實驗的氣體通入爐管中，管子的兩端由閥門密封，氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學反應。充氣時由閥門控制流量計、質量流量計、壓力表等監控。

爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進口摩根纖維制作而成，節能效果是老式電爐80%以上。

電壓V

380

型號

SRD-1700GSL

設計溫度

1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度

可長期使用溫度

950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度

控溫精度

±1度（集成化電路控制，無*調現象）

控制范圍為

50至1800度

測溫元件

熱電偶分度號：K,測溫范圍0-13850度；S,測溫范圍0-1450度；B,測溫范圍0-1850度

發熱元件裝位置

平行/垂直安裝于爐膛兩側

爐溫均勻性

±1度（根據爐膛尺寸大小而定,大型爐膛可采用多點控溫）

爐管材質

石英管/不銹鋼管/剛玉管

控制

微電腦程序控制功能，可以輸入設定：可同時輸入多條曲線，使用時可任意調用

發熱元件

硅碳棒/硅鉬棒

升溫速率

升溫速率可自由調節，調節范圍：升溫速率每分鐘40度（40度/min）、慢升溫速率每小時1度（1度/h）

耐火材料

高純氧化鋁纖維/進口摩根纖維

冷卻結構

雙層爐殼，風冷；爐體溫度≤45度

計算機接口(選配）

RS485/RS232/USB

保修范圍及期限

電爐*保修壹年，發熱元件、爐管、熱電偶不保修（發熱元件三個月內自然損壞*更換）

隨機備件

發熱元件兩支、棒具兩套，說明書一份，合格證一份，高溫手套一副，密封圈兩個。